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大型設備基盤センター 物理・表面計測系

ICP室



設置場所

大型設備基盤センター(22号館) 3階317室

装置管理者・連絡先

この装置に関する相談・お問い合わせは
icp***adm.nitech.ac.jp (メールをくださる時 *** を @ に変換して下さい)
までお寄せください。 この装置の設備取扱責任者、相談員、オペレーターは、
人員配置にてご確認ください。


2013年9月よりメールアドレスが変更しました。

原理

ICP(Inductively Coupled Plasma)発光分光分析装置は,ppb〜ppmの幅広い濃度範囲の多元素を一斉に分析できるという特長を持っています.発光分光分析法とは,試料に電気的・熱的エネルギーを与えて励起・発光させ,放射された光を分光器により分離した後,元素固有のスペクトル線の波長と強度を測定することにより,元素の定性及び定量分析を行うものです. ICP発光分光分析装置では,励起に誘導結合高周波プラズマ(この装置ではアルゴンプラズマ)を利用します.プラズマは石英ガラス製のミニトーチに銅製の誘導コイルを巻きつけ,そのコイルに高周波電流(27.120MHz)を流し,高速電子とアルゴン原子の衝突によって発生させます.イオンや電子の生成と消滅(再結合,拡散,ガス流などによる)がつり合った状態でプラズマが維持され,誘導コイルの周波数が高いほど,また電導性のよいプラズマほど,プラズマの加熱が周辺部に集中します.キャリーガスの導入により,管中心部の温度は一層低下してドーナツ状のプラズマが形成されます.


ICP発光分析の特徴

  1. 希ガス,ハロゲン、窒素、酸素などを除くほとんどの元素(Li〜U)についてppm〜ppbレベルで高感度分析が可能(※)
  2. 多元素を迅速に同時定量可能
  3. 検量線の直線範囲が4〜5桁
  4. プラズマの温度が高いため、化学干渉やイオン干渉の影響が少ない・試料が溶液であるため、検量線が作用しやすい

    ※分析元素の検出限界

装置性能および仕様

島津製作所製、ICPE-9000
  1. プラズマ光源部
    トーチ部 軸方向観察
    試料噴霧室 サイクロンチャンバー
    プラズマトーチ ミニトーチ
    ネブライザー 同軸形
    アルゴンガス 純度99.995%以上

  2. 高周波電源部
    発振器 水晶発振器
    最大高周波数 1.6kW
    出力安定度 ±0.3%以内
    高周波回路素子 半導体素子
    点灯方式 全自動オートマッチング
    負荷整合機能 自動マッチング

  3. 分光器部
    光学系 エシェル分光器
    波長範囲 167〜800nm
    検出器 半導体検出器(CCD)
    分解能 ≦0.005nm@200nm
    真空紫外域対応 真空分光器
    分光器温度 温度制御付

  4. データ処理
    PC WindowsXP
    各種機能
    • 波長自動選択機能
    • 共存元素情報自動作成
    • 定性分析
    • 定量分析(全波長保存可)

利用方法及び利用料金(学内)

ポータル内の機器分析受付システムから申請してください。
システムへのアクセス方法については学内利用案内をご確認ください。
システムへ入力後、オペレーターと相談して試料の前処理や、調整等を行った後に測定を行います。利用料金は、学内利用料金表をご参照ください。

学外の方へ

ご相談、または受託試験を希望される学外の方は、受託試験案内をご覧下さい。



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