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大型設備基盤センター 物理・表面計測系

イオンスライサー EM-09100 IS

09100IS

設置場所

22号館 414室
イオンスライサー 日本電子 EM-09100IS

装置管理者・連絡先

この装置に関する相談・お問い合わせは
大型設備基盤センター(浅香)または
設備取扱責任者(籠宮)へご連絡ください。

装置の特徴

電子顕微鏡用の薄膜試料を作製できます。鏡面研磨やディンプルグラインダ処理をする必要がありません。 短冊状に試料を予備加工するだけでイオン研磨処理が行えます。柔らかい金属材料などでも歪が入りにくく、 研磨等の破損も少ないので効率よく試料作製が行えます。詳しくは日本電子のホームページをご参照ください。


装置性能および仕様

イオンスライサー(日本電子製 EM-09100IS)
イオン加速電圧 1 - 8 kV
傾斜角 最大 ±6°(0.1°ステップ)
ビーム径 500 μm (FWHM)
エッチングレート 5 μm/min (加速電圧:8 kV, Si換算)
使用ガス アルゴンガス
試料サイズ (目安) 2.8 mm (長さ)×0.5 mm (幅)×0.1 mm (厚さ)


利用方法及び利用料金

利用について

  • 学内
    教職員および学生のうち装置担当者(浅香・籠宮)から許可を得た方のみが使用できます。 原則として試料調製ができる方とします。初めて使う方は必ず事前に装置担当者(浅香・籠宮)へご連絡ください。
    学生は担当教員と相談の上、ご相談ください。
    また以下の条件を満たしていることが必須となります。

      ● 使用料金を支払うことができる方

      ● 学内の液体窒素利用資格者

    試料汚染を防止するため、液体窒素トラップを設けていますので、利用者は必ず学内の講習を受け液体窒素利用資格を取得してください。

  • 学外
    受託試験等受け付けております。ご相談、または受託試験を希望される学外の方は、受託試験案内をご覧下さい。

試料について

以下の試料については扱えません

  (1) 毒物、危険物

  (2) ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料

  (3) 強い磁化を持つ試料(磁性体については別途ご相談ください)

  (4) 前処理や分析過程で、装置に障害をきたす恐れがあると判断した試料

利用申し込み手順

利用を希望する方は大型設備基盤センター(浅香)または設備取扱責任者 (籠宮)まで事前にご連絡ください。 学内の方ですでに使われている方はポータル内の機器分析受付システムから予約してください。 システムへのアクセス方法については学内利用案内をご確認ください。



利用料金

使用に際してのお願い

装置のトラブルや故障の際はすぐに装置担当者(浅香・籠宮)に連絡してください。



備考

ミスオペレーションによる装置の破損については修理費等を徴収します。
液体窒素使用時には部屋に置いてある注意事項をよく読み作業してください。



         
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